有關薄膜沉積的敘述,下列何者不正確?
新北市市立淡水商工・106學年 定期評量・第 2023 題・由 Siao 提供
解答
答案
在晶圓上形成製造電路的基礎
- A在晶圓上形成製造電路的基礎正解
- B薄膜沉積法製作之氧化膜純度較氧化法高
- C濺鍍法可得到非常均勻的覆層
- D在晶圓上面沉積一層二氧化矽、氮化矽、多晶矽或導電金屬
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